Use "showerhead|showerheads" in a sentence
1. Cooling type showerhead and substrate processing apparatus having same
냉각 방식의 샤워헤드 및 이를 구비하는 기판 처리 장치
1. Cooling type showerhead and substrate processing apparatus having same
냉각 방식의 샤워헤드 및 이를 구비하는 기판 처리 장치